在廣島大學(xué)主辦的“半導(dǎo)體與生物融合集成技術(shù)研討會”現(xiàn)場。來自企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)的約150人參加了該研討會。  

　　廣島大學(xué)教授尖端物質(zhì)科學(xué)研究系半導(dǎo)體集成科學(xué)系巖田穆和廣島大學(xué)教授研究生院尖端物質(zhì)科學(xué)研究系半導(dǎo)體集成科學(xué)系主任吉川公麿。巖田是“半導(dǎo)體與生物融合集成技術(shù)構(gòu)筑項目”的項目主管。吉川是廣島大學(xué)2008年5月創(chuàng)立的“納米元件與生物融合科學(xué)研究所”的所長。  

　　此次項目力爭開發(fā)的“可吞服生物傳感器”。  

　　生物傳感器中采用了納米線FET

　　廣島大學(xué)在6月27日召開的研討會上公布了其與爾必達(dá)內(nèi)存、生體分子計測研究所及佐竹三公司共同推進(jìn)的“半導(dǎo)體與生物融合集成技術(shù)項目”的研究成果。該項目的第一個突破口——2015年之前實現(xiàn)“可吞服生物傳感器”的關(guān)鍵技術(shù)“已經(jīng)齊備”主管該項目的廣島大學(xué)教授尖端物質(zhì)科學(xué)研究科半導(dǎo)體集成科學(xué)系巖田穆說。  

　　三維集成生物傳感器、存儲器和無線電路
  
　　該項目的目標(biāo)是融合半導(dǎo)體技術(shù)和生物技術(shù)的經(jīng)驗，研制可高速診斷多項活體信息的生物傳感系統(tǒng)等高附加值器件。2006年度在文部科學(xué)省的支持下啟動，08年度為中期評價年度。  

　　該項目要開發(fā)的“可吞服生物傳感器”，是可以在消化器官內(nèi)測量蛋白質(zhì)等活體信息的膠囊狀生物傳感器。三維集成有生物傳感器、存儲器和無線電路，可以檢測、保存多項活體信息，并可以進(jìn)行無線通信。廣島大學(xué)等此次展示了用來實現(xiàn)該系統(tǒng)的傳感器、無線電路及三維封裝技術(shù)等研究成果。  

　　采用納米線FET和4F2DRAM  

　　其中，廣島大學(xué)等作為“08年度任務(wù)”（巖田）進(jìn)行的開發(fā)項目有兩個：（1）為利用半導(dǎo)體電路的生物傳感器開發(fā)的硅/有機(jī)材料界面控制技術(shù)；（2）為高集成存儲器進(jìn)行的新材料及新原理探索。其中，（1）是以廣島大學(xué)半導(dǎo)體集成元件部門和生物醫(yī)療部門為開發(fā)主體，（2）則以廣島大學(xué)半導(dǎo)體集成元件系部門和爾必達(dá)內(nèi)存為開發(fā)主體。   

    在（1）中，開發(fā)出了使硅和有機(jī)材料穩(wěn)定結(jié)合的蛋白質(zhì)。并使用這種蛋白質(zhì)，試制出利用半導(dǎo)體電路的生物傳感器，確認(rèn)了該生物傳感器的基本動作。比如，證實了在硅納米線——FET的納米線上固定這種蛋白質(zhì)時，隨有機(jī)材料的結(jié)合可以使電流發(fā)生變化，另外還證實，使用基于量子點的浮遊柵極型MOS FET，可以檢測出微弱熒光。 
   
    在（2）中，開發(fā)出了單元面積只有4F2（F為設(shè)計規(guī)則）的DRAM的關(guān)鍵技術(shù)。除試制出使用縱向晶體管的單元外，還對電容器用高介電率（high-k）膜進(jìn)行了評測。在high-k膜方面，有希望的候選對象“已經(jīng)鎖定”（廣島大學(xué)教授研究生院尖端物質(zhì)科學(xué)研究科半導(dǎo)體集成科學(xué)專攻吉川公麿）。